刘明,复旦大学芯片与系统前沿技术研究院院长,中国科学院院士,IEEE Fellow,发展中国家科学院院士,中国科学院微电子研究所研究员、博士生导师,中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室主任,国家重大基础研究计划项目首席科学家,国家杰出青年科学基金获得者,国家自然科学基金委创新群体负责人,入选国家百千万人才工程和科技北京百名领军人才培养工程。
刘明院士长期从事微电子科学技术研究,在新型存储器、微纳电子器件、先进半导体材料结构与集成电路微纳加工技术等方向取得系统性创新成果。其研究工作围绕存储器模型机理、材料结构、核心共性技术和集成电路加工等关键问题展开,对新型存储器和集成电路加工技术的发展,以及提升我国在相关领域的国际影响力具有重要意义。
刘明院士的代表性成果包括:建立阻变存储器(RRAM)物理模型,提出并实现高性能 RRAM 及其集成的基础理论和关键技术方法;拓展新型闪存材料和结构体系,提出新的可靠性表征技术、失效模型和物理机理;开发国内首款自主 IP 的 8M 纳米晶和 1G NOR 型存储芯片;发展集成电路加工技术,并广泛应用于掩模制造、国家重大工程急需的特殊器件和信息技术等领域。
刘明院士发表 SCI 收录论文 300 多篇,论文被 SCI 他引超过 6000 次,6 篇论文入选 ESI 高被引论文榜,两项工作被列入 2013 年 ITRS(国际半导体发展路线图)。撰写专著 2 本、译著 1 本。获授权发明专利 246 件,其中包括 18 项美国发明专利,主要专利转让或许可到多家重要集成电路企业。
刘明院士获得 2016 年国家自然科学二等奖(排名第一)、2013 年国家技术发明二等奖(排名第一)、2007 年国家技术发明二等奖(排名第二)、2005 年国家技术发明二等奖(排名第四)、2009 年国家科技进步二等奖(排名第四)、2018 年度中国科学院杰出科技成就奖(排名第一)、2017 年度何梁何利基金科学与技术奖、2012 年真空科技成就奖、2015 年中国电子学会科学技术奖自然科学类一等奖(排名第一)、2010 年北京市科学技术一等奖(排名第一)、2014 年北京市科学技术二等奖(排名第一)和 2014 年度中国科学院杰出科技成就奖(排名第八)等奖励。
刘明院士在国际学术会议做邀请报告 60 多次,培养博士生 40 余名。其中,2 名学生获得国家杰出青年科学基金,3 名学生获得国家优秀青年科学基金,3 名学生获得中国科学院优秀博士学位论文奖,另有学生获得中国电子教育学会 2017 年度首届优秀博士学位论文奖和中国真空学会优秀博士学位论文奖。
刘明院士兼任期刊 Applied Physics A 副主编,中国微米纳米技术学会第二届理事会理事,中国科学院大学微电子学院教学指导委员会委员,中国真空学会第八届理事,中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会常务理事和 2006–2007 年度执行理事长,中国材料学会青年委员会常务理事,“纳米科学技术大系”编委会编委,“微纳技术著作丛书”编委会编委,第六届《传感技术学报》特约编委,以及中国科学院科学出版社基金第六届专家委员会信息技术科学专业组成员。
作为实验室首席科学顾问,刘明院士指导实验室围绕生物医疗集成电路、脑机接口芯片、智能传感系统与下一代集成电路技术开展前沿交叉研究。